Basınç sensörü, basıncı ölçmek için çelik, kimyasal ve diğer alanlarda kullanılabilen ve basınç regülatörü ile birlikte kullanıldığında otomatik basınç kontrolünü gerçekleştirebilen bir tür basınç sensörüdür.
Difüzyon silikon basınç sensörü /prensibe giriş
Diffusion silicon pressure sensor is based on the principle of piezoresistive effect, using integrated process technology through doping and diffusion, along the characteristic crystal direction on the single crystal silicon wafer, to form a strain resistance to form a Wheatstone bridge.Using the elastic mechanical properties of silicon material, anisotropic micromachining is performed on the same silicon material, and a diffused silicon sensor integrating force-sensing and Kuvvet-elektrik dönüşüm tespiti imal edilmiştir.
Dağınık silikon basınç sensörünün basıncı doğrudan sensörün diyaframına (paslanmaz çelik veya seramik) etki eder, diyaframın ortamın basıncı ile orantılı bir mikro yer değiştirme üretmesine ve sensörün direnç değeri değişir. Elektronik devre bu değişikliği tespit eder ve dönüştürür. Bu basınca karşılık gelen standart bir ölçüm sinyali çıktı.
Difüzyon silikon basınç sensörü özellikleri
1. Küçük ölçekli vericiler yapmak için uygun
Silikon çipin kuvvete duyarlı dirençinin piezoresistif etkisi, sıfır noktaya yakın düşük aralıkta ölü bir bölgeye sahip değildir ve basınç sensörünün aralığı birkaç kPa kadar küçük olabilir.
2. Yüksek çıkış hassasiyeti
Silikon gerinim direncinin duyarlılık faktörü, metal gerinim göstergesinden 50 ila 100 kat daha fazladır, bu nedenle karşılık gelen sensörün hassasiyeti çok yüksektir ve genel aralık çıkışı yaklaşık 100mV'dir. Bu nedenle, arayüz devresi için özel bir gereksinim yoktur ve kullanımı daha uygundur.
3. Yüksek hassasiyet
Sensörün algılanması, hassas dönüşümü ve tespiti aynı bileşen tarafından gerçekleştirildiğinden, ara dönüşüm bağlantısı yoktur ve tekrarlanabilirlik ve histerezis hataları küçüktür. Monokristalin silikonun kendisi yüksek sertliğe ve küçük deformasyona sahip olduğundan, iyi doğrusallık sağlanır.
4. Çalışmanın unisexual deformasyonu mikro-gerinim sırası kadar düşük olduğundan, elastik çipin maksimum yer değiştirmesi mikron sırasındadır, bu nedenle aşınma, yorgunluk, yaşlanma ve ömrü 1 × 107 basınç döngüsü, stabil performans ve yüksek güvenilirliğe sahip.
5. Silikonun mükemmel kimyasal korozyon direnci nedeniyle, izole edilmemiş dağınık silikon basınç sensörleri bile çeşitli ortamlara önemli ölçüde uyum sağlama yeteneğine sahiptir.
6. Chip entegre bir işlemi benimsediğinden ve iletim bileşenleri olmadığından, boyutu ve hafif ağırlık bakımından küçüktür.
Kullanım için difüzyon silikon basınç sensörü önlemleri
1. Aşırı menzilli veya düşük menzil seçildiğinde, genlik ±%30 FS içinde kontrol edilmelidir.
2. Basınç modu, ihtiyaçlara göre makul olarak seçilebilen gösterge basıncı, mutlak basınç ve sızdırmazlık basıncına ayrılır.
3. Sistemin maksimum aşırı yüklenmesini onaylayın. Sistemin maksimum aşırı yükü, sensörün aşırı yük koruma sınırından daha az olmalıdır, aksi takdirde ürünün servis ömrünü etkileyecek ve hatta ürüne zarar verecektir.
4. Diyaframa herhangi bir sert nesne ile dokunmayın, aksi takdirde diyaframın kopmasına neden olur.
5. Negatif basınç çekirdeğinin üretim malzemesi ve süreci pozitif basınçla aynı değildir, bu nedenle negatif basınç çekirdeği gösterge basınç çekirdeği ile değiştirilemez.
6. Yanlış kurulumun neden olduğu ürünün hasar görmesini önlemek için kurulumdan önce talimat kılavuzunu dikkatlice kontrol edin.
7. Kullanım kullanımı tehlikeye ve kişisel yaralanmaya yol açabilir.
8. Çekirdek gövdeden çekilir ve kabloları ve tüp bacaklarını çekmek yasaktır.
Difüzyon Silikon Basınç Sensörü Uygulamaları
Difüzyon silikon basınç sensörleri esas olarak proses kontrol sistemleri, basınç kalibrasyon cihazları, hidrolik sistemler, biyomedikal aletler, hidrolik sistemler ve valfler, sıvı seviyesi ölçümü, soğutma ekipmanı ve HVAC kontrol endüstrilerinde kullanılır. Yüksek otomasyon gereksinimlerine sahip tüm endüstrilerin dağınık silikon basınç sensörleri kullanabileceği söylenebilir.
Gönderme Zamanı: Ağustos-15-2022